广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年11月至2026年12月政府采购意向

广东中科半导体微纳制造技术研究院公开202 legend

信息类型采购预告

发布时间2026-11-05

所属地区广东省

采购人广东中科半导体微纳制造技术研究院

项目预算500万元

采购方式其他

所属行业环保绿化

信息来源广东政府采购网

公告正文

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年11月至2026年12月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	自动清洗台	标的名称：自动清洗台标的数量：1 主要功能或目标：功能：在单片旋转工艺腔室内，集成SC1 兆声、SC2 标准 RCA 清洗、氮气干燥功能；通过药液精准供给、旋转喷淋、兆声辅助、物理刷洗，去除晶圆表面颗粒、有机、无机污染物，完成晶圆后道清洗。目标：用于功率半导体、化合物半导体（SiC、GaN）、硅、玻璃衬底晶圆的制程清洗，满足刻蚀前后、研磨后晶圆的颗粒去除工艺需求。需满足的要求：1.适用晶圆尺寸：6/8 英寸晶圆，衬底厚度 500~1500μm（±20μm），支持硅、SiC、玻璃、GaN 衬底； 2. 至少配置 4 个工艺腔室，2 个刷洗腔 + 2 个化学兆声清洗腔，具备晶圆翻转功能； 3.支持 MES 对接 4.设备稼动率 Uptime＞90%，晶圆破损率优于 1/50000；	落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	5,000,000.00	2026年12月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

2026年11月05日

广东中科半导体微纳制造技术研究院公开202 legend

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