广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年03月至2026年04月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年03月至2026年04月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-03-05

所属地区广东省

采购人广东中科半导体微纳制造技术研究院

所属行业环保绿化

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	聚焦离子束扫描电子显微镜	标的名称：聚焦离子束扫描电子显微镜标的数量：1 主要功能或目标：用于半导体微纳加工中晶圆截面切割与表征分析、辅助TEM样品制备，以及在器件表面进行纳米级别的加工需满足的要求：1. Ga 离子束分辨率：≤2.5nm @ 30kV； 2.最佳工作距离电子束分辨率：在最佳工作距离：≤0.6nm @ 15kV~2kV；≤0.7nm @ 1kV； 3.在束交叉点分辨率：≤0.6nm @ 15kV； ≤1.0nm @ 2kV；≤1.2nm @ 1kV； 4. 图像存储：6k x 4k 像素，单幅最大图像 64k x 64k 像素 5.提供专业 4-8 英寸晶圆载台，无损快	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	10,000,000.00	2026年04月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

2026年03月05日

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