广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年05月至2026年06月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年05月至2026年06月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-05-14

所属地区广东省

采购人广东中科半导体微纳制造技术研究院

所属行业环保绿化

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	光学镀膜机	标的名称：光学镀膜机标的数量：1 主要功能或目标：在各类光学玻璃和晶体上镀制减反射膜、高反射膜、分光膜、滤光膜及其他多层光学薄膜。目标是实现高精度、高稳定性的多层光学薄膜自动蒸镀工艺，满足高端光学元件制造需求。需满足的要求：1.真空性能：极限真空<7.0E-5Pa，恢复真空15分钟达1.3E-3Pa； 2.核心配置：至少配备双10kW电子枪及1000W射频离子源，支持光学与水晶双膜厚监控； 3.设备所处环境温度应在室温18-25℃。 4.成膜验收需达到特定波段平均反射率低于0.85%及滤光片波长变化小于±5nm的指标。	落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	3,700,000.00	2026年06月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

2026年05月14日

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