季华实验室2026年06月至2026年07月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年06月至2026年07月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-06-17

所属地区广东省

采购人季华实验室

所属行业教育培训

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	季华实验室采购氮化镓金属有机化合物气相沉积设备项目	标的名称：氮化镓金属有机化合物气相沉积设备标的数量：1 主要功能或目标：1、要求薄膜沉积速率可达2μm/h。 2、要求片内膜层均匀性：9点厚度均匀性偏差小于3%。 3、可以进行蓝宝石衬底 GaN 晶体生长基础工艺，GaN双晶衍射（002）小于3500 arcsec，（102）小于4500 arcsec。需满足的要求：316L不锈钢腔体、带水冷；装载量：12片4英寸；水平行星式石墨托盘，自动开关盖；极限真空度:5×10-2Torr；生长室压力控制范围：5-760Torr，工艺气体最大流量：140slm。设计温度1250℃，升温速率大于1℃/S；中频盘S式线圈感应加热。 9路有机源采用流量计压力计控制，所有气路均使用SUS316L EP级管路。含浓度计。	落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、监狱企业产品、贫困地区农副产品等政策	3,950,000.00	2026年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

季华实验室

2026年06月17日

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