广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年07月至2026年08月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-07-03

所属地区广东省

采购人广东中科半导体微纳制造技术研究院

所属行业环保绿化

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	氧化钒溅射腔	标的名称：氧化钒溅射腔标的数量：1 主要功能或目标：处理氧化钒层的高精度沉积与图形化，具备高均匀性、高台阶覆盖率的工艺能力。目标是实现高可靠性、低缺陷的氧化钒功能层结构，特别是满足先进半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）对氧化钒薄膜的高精度加工需求，用于高性能半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）的制造。需满足的要求：1、颗粒（>0.2μm）, 膜内 <=50 ea（除正常晶圆外） 2、薄膜应力：应小于300Mpa	落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况	4,600,000.00	2026年08月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

2026年07月03日

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