五邑大学集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目的合同公告
一、合同编号
公告正文
一、合同编号
WYUZB2026-037HW
二、合同名称
集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目
三、项目编号
WYUZB2026-037HW
四、项目名称
集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目
五、合同主体
采购人(甲方)：五邑大学
地址：江门市蓬江区东成村22号
联系方式：0750-3296151
供应商(乙方)：普莱斯特流体科技（深圳）有限公司
地址：深圳市宝安区松岗街道沙浦社区广进路24号综合楼二 101
联系方式：18666824309
六、合同主要信息
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 等离子增强化学气相沉积一二次配系统 | 1(套) | 125,000.00 | 125,000.00 |
| 2 | 氮气柜一二次配系统 | 1(套) | 20,000.00 | 20,000.00 |
| 3 | GR-CF4手动单瓶气瓶柜及配件 | 1(套) | 30,000.00 | 30,000.00 |
| 4 | 其他配套附件 | 1(批) | 5,000.00 | 5,000.00 |
| 5 | 单腔金属介质溅射台一二次配系统 | 1(套) | 60,000.00 | 60,000.00 |
| 6 | 气路检测 | 1(项) | 30,000.00 | 30,000.00 |
| 7 | GR-N2O手动单瓶气瓶柜及配件 | 1(套) | 30,000.00 | 30,000.00 |
| 8 | 反应离子刻蚀机一二次配系统 | 1(套) | 138,000.00 | 138,000.00 |
| 9 | GR-O2手动单瓶气瓶柜及配件 | 1(套) | 30,000.00 | 30,000.00 |
| 10 | 通风橱一二次配系统 | 5(套) | 10,000.00 | 50,000.00 |
| 11 | 扩散炉1一二次配系统 | 1(套) | 60,000.00 | 60,000.00 |
| 12 | 扩散炉2一二次配系统 | 1(套) | 60,000.00 | 60,000.00 |
| 13 | 快速退火炉一二次配系统 | 1(套) | 50,000.00 | 50,000.00 |
| 14 | GC-PN2手动双瓶气瓶柜及配件 | 1(套) | 30,000.00 | 30,000.00 |
| 15 | 尾气处理系统一二次配系统 | 1(套) | 50,000.00 | 50,000.00 |
合同金额： 768,000.00元，大写金额：柒拾陆万捌仟元整
履约期限：2026年06月26日至2026年08月10日
履约地点：五邑大学
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
2026年06月26日
八、合同公告日期
2026年07月15日
九、其他补充事宜
合同附件：
五邑大学
2026年07月15日
公告原件
相关附件
原始公告：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/maincms-web/articleGd?type=article&id=a1281467-8859-…（本站内容整理自该公开页面，以原文为准）
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