广东省科学院半导体研究所2026年08月至2026年10月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年08月至2026年10月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-08-25

所属地区广东省

采购人广东省科学院半导体研究所

所属行业教育培训

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	广东省科学院半导体研究所X射线光电子能谱仪设备采购项目	标的名称：X射线光电子能谱仪标的数量：1 主要功能或目标：X射线光电子能谱仪主要用于集成电路制造业中半导体器件和关键材料分析，可以得到表、界面的元素成分及化学态定性、定量信息，以及材料表面电子结构信息。用于晶圆制造、芯片加工、电子器件生产、元件封装测试等各种环节涉及的材料加工、清洗、改性、钝化等表界面处理表征，提升相关工艺研发、产品质量监测、失效分析能力。需满足的要求：1、具备大小束斑XPS测试、XPS成像和XPS深度剖析功能 2、样品尺寸60mm×60mm 3、能量分辨率：≤0.5 eV 4、源束斑尺寸可选规格≥20档 5、配置双束中和源，同时具备电子和离子中和能力 6、能量分析器类型：180°半球型单层分析器 7、分析室同时具有同轴光源及非同轴光源，用于样品观察 8、具备环保部出具的射线装置豁免备案表	落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况。	3,800,000.00	2026年10月	本项目不属于专门面向中小企业采购的项目

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东省科学院半导体研究所

2026年08月25日

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