广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年09月至2026年10月采购意向公开如下：

信息类型采购预告

发布时间2026-09-21

所属地区广东省

采购人广东中科半导体微纳制造技术研究院

所属行业环保绿化

信息来源广东政府采购网

公告正文

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）	标的名称：金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）标的数量：1 主要功能或目标：用于Ⅲ‑N 族化合物半导体外延薄膜生长，可实现GaN 基等外延片制备，可精准控制薄膜厚度、组分与掺杂，保障外延片晶体质量、片内 / 片间均匀性，满足半导体器件的研发与中试生产。需满足的要求：1.设备支持8英寸衬底生长，单炉可载5片； 2.设备包含反应腔体、MO源供给管道、高精度气路控制、加热控温系统、真空系统、尾气处理、原位生长监控能力； 3.具备全自动传盘系统、原位氯气清洁的功能。	落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	16,000,000.00	2026年10月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

2026年09月21日

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