zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目更正公告

公告正文

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：2505004096

原公告的采购项目名称：zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目公开招标公告

首次公告日期：2026年10月26日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

对本项目作出如下修改：

1)本项目提交投标保证金截止时间、提交投标文件截止时间和开标时间延期至2026年11月26日09点00分（北京时间）；

2)对招标文件第五章采购需求自动匀胶显影设备inline部分技术规格作出如下修改：

a)▲ 5.2HMDS 增粘单元温度范围50-180℃；均匀性： 50-120℃ ±0.2℃，120.1-150℃ ±0.4℃，150.1-180℃ ±0.6℃；接触角≥60°，片内5点极差≤8°；电机PIN升降控制，最小间距0.1mm。

b）▲ 5.3 Soft Bake热板单元：50~180℃ 可调；均匀性： 50-120℃ ±0.1℃，120.1-150℃ ±0.15℃，150.1-180℃ ±0.25℃；冷热复合盘，温控器控温:21-24±0.4℃，冷盘带真空吸附功能；电机PIN升降控制，最小间距0.1mm；快速升降温：90-180℃下，△T=30℃ 的温度变化所需时间≤60s。

c)▲ 5.4 PEB热板单元：50~180℃ 可调；均匀性： 50-120℃ ±0.1℃，120.1-150℃ ±0.15℃，150.1-180℃ ±0.25℃；电机PIN升降控制，最小间距0.1mm；冷热复合盘，温控器控温:21-24±0.4℃，冷盘带真空吸附功能；快速升降温：90-180℃下，△T=30℃ 的温度变化所需时间≤60s。

d)▲ 5.5 Hard Bake热板单元：50~250℃ 可调；均匀性： 50-120℃ ±0.2℃，120.1-150℃ ±0.4℃，150.1-180℃ ±0.6℃，180.1-250℃ ±1℃；电机PIN升降控制，最小间距0.1mm；

e)▲ 5.6冷板单元：薄型冷板≥6套，交换界面冷≥板2套；22-24℃，3σ≤0.6%；电机PIN升降控制，最小间距0.1mm。

3）对第三章评标办法“表1各评审因素的评审内容、评分标准及满分值一览表”5同类业绩主要评审内容修改为：

2023年6月1日至今(以合同签订时间为准)，制造商提供的类似项目合同案例中，需提供自动剥离机、光刻胶喷胶机、自动匀胶显影机inline、自动匀胶显影机、晶圆清洗机、RCA清洗机各5台(或同工艺用途不同名称设备)。类似项目合同是指采购内容包含上述设备的合同。需同时提供如下证明材料:

1.合同复印件(必须提供与最终用户签订的合同首页、货物明细页、合同金额、签字盖章页复印件作为证明)

2.自动匀胶显影机inline需体现相关提供技术协议和inline联机功能配置说明。

2023年6月1日至今(以合同签订时间为准)提供制造商的类似项目合同(类似项目合同是指采购内容包含以下六种设备(或同工艺用途不同名称设备)的合同案例:

1.自动剥离机-

2.光刻胶喷胶机

3.自动匀胶显影机inline

4.自动匀胶显影机

5.晶圆清洗机

6.RCA清洗机

需提供合同复印件，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、货物明细页、签字盖章页复印件作为证明，不提供或提供的材料不符合要求或模糊不清的则不得分;本项满分5

分，提供上述6种设备得5分，提供5种设备得4分，提供4种设备得3分，提供3种设备得2分，提供2种设备得0.75分，提供1种设备得0.25分。

4）本项目招标文件“第五章采购需求”中关于的“★六、付款条件”中的关于“1. 国产产品和国内供货进口产品”的付款条件全部更正为：

1. 国产产品和国内供货进口产品：中标人在合同签订后30个日历日内向招标人提供合同金额80%的预付款保函，预付款保函有效期至货到甲方指定地点安装调试验收合格；招标人在合同签订后45个日历日内向中标人支付合同总金额80%的预付款; 设备到货后，安装验收合格后，招标人凭双方认可的验收报告和招标人认可的制造商出具的质保文件支付剩余的20%货款并退还保函（不计息）。

详见更正公告附件招标文件。

其它内容不变。

更正日期：2026年11月10日

三、其他补充事宜

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：zycgr22011903

地址：上海市合川路2380号

联系方式：王老师 021-64220901

2.采购代理机构信息

名称：上海国际招标有限公司

地址：上海市延安西路358号美丽园大厦14楼

联系方式：徐迪，阮相儒，何沛霖 021-32173620、021-3217369

3.项目联系方式

项目联系人：徐迪，阮相儒，何沛霖

电话： 021-32173620、021-32173699

内容提要

zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目更正，延期截止时间和开标时间至2026年11月26日09:00，修改技术规格和评标办法。

关键信息

• 延期截止时间和开标时间至2026年11月26日09:00
• 修改技术规格和评标办法
• 付款条件更正

投标人资格要求

• 2023年6月1日至今，制造商提供类似项目合同案例，需提供自动剥离机、光刻胶喷胶机、自动匀胶显影机inline、自动匀胶