AI智能体验馆采购项目采购更正公告（第一次）
一、项目基本情况
公告正文
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：HNXH-2026-125
原公告的采购项目名称：AI智能体验馆采购项目
首次公告日期：2026年07月29日
二、更正信息：
更正事项：采购文件
更正原因：
对原磋商文件《第三章采购需求》技术和服务要求中的技术参数进行变更
更正内容：
一、现对原磋商文件《第三章采购需求》技术和服务要求中的技术参数进行变更：
（ 1）原项目人工智能展示体验模块2.1芯片制作体验区技术参数要求：
1.
| 1 | 教学用芯片光刻机 | 一、总体概述与核心特点 | 1 | 台 | |
| 本系统为芯片教学专用一站式微纳加工实训平台，覆盖芯片从设计到成品的全流程制程，还原标准半导体制程步骤，操作安全可控、工艺可复现，适配各学段相关专业教学实训需求。 | ★ | ||||
| 二、核心模块与技术参数 | |||||
| 1.IC设计模块：配备专用电脑，支持EDA电路设计、掩膜版版图绘制。 | ★ | ||||
| 2.清洗模块： | ★ | ||||
| （ 1）喷射式湿法清洗，去除衬底表面油渍、颗粒等污染物。 | ★ | ||||
| （ 2）提供清洗模块的检测报告。 | ★ | ||||
| 3.匀胶模块： | ★ | ||||
| （ 1）配有真空吸盘，负压吸附衬底，精准旋涂光刻胶形成高质量的薄膜。 | ★ | ||||
| （ 2）提供匀胶模块的检测报告。 | ▲ | ||||
| 4.烘焙模块： | ★ | ||||
| （ 1）程控加热，完成衬底前烘、后烘等热处理。 | ★ | ||||
| （ 2）提供烘焙模块的检测报告。 | ▲ | ||||
| 5.光刻模块： | ★ | ||||
| （ 1）含对准、曝光子模块，365nm紫外光源，最小分辨力≤3μm，对准精度±0.05mm，实现设计图案精准转移。 | ★ | ||||
| （ 2）提供光刻模块的检测报告。 | ▲ | ||||
| 6.显影/刻蚀模块： | ★ | ||||
| （ 1）一体化设计，满足湿法显影、刻蚀工艺需求。 | ★ | ||||
| （ 2）提供显影/刻蚀模块的检测报告。 | ▲ | ||||
| 7.掺杂模块： | ★ | ||||
| （ 1）完成硅片掺杂处理，调控半导体电学性能。 | ★ | ||||
| （ 2）提供掺杂模块的检测报告。 | ▲ | ||||
| 8.显微观测模块：不小于1-120倍显微观察，可对工艺结果检测与分析。 | ★ | ||||
| 9.手持气枪：用于衬底表面残液、粉尘，辅助清洁。 | ★ | ||||
| 10.安全黄光系统： | ★ | ||||
| （ 1）光刻专用黄光安全空间，配套独立进排风系统，保障工艺环境与操作安全。 | ★ | ||||
| （ 2）提供安全黄光系统的检测报告。 | ▲ | ||||
| 以上要求提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有 CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ★ |
现变更为：
1.
| 1 | 教学用芯片光刻机 | 一、总体概述与核心特点 | 1 | 台 | |
| 本系统为芯片教学专用一站式微纳加工实训平台，覆盖芯片从设计到成品的全流程制程，还原标准半导体制程步骤，操作安全可控、工艺可复现，适配各学段相关专业教学实训需求。 | ★ | ||||
| 二、核心模块与技术参数 | |||||
| 1.IC设计模块：配备专用电脑，支持EDA电路设计、掩膜版版图绘制。 | ★ | ||||
| 2.清洗模块： | ★ | ||||
| （ 1）喷射式湿法清洗，去除衬底表面油渍、颗粒等污染物。 | ★ | ||||
| 3.匀胶模块： | ★ | ||||
| （ 1）配有真空吸盘，负压吸附衬底，精准旋涂光刻胶形成高质量的薄膜。 | ★ | ||||
| （ 2）提供匀胶模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ | ||||
| 4.烘焙模块： | ★ | ||||
| （ 1）程控加热，完成衬底前烘、后烘等热处理。 | ★ | ||||
| （ 2）提供烘焙模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ | ||||
| 5.光刻模块： | ★ | ||||
| （ 1）含对准、曝光子模块，365nm紫外光源，最小分辨力≤3μm，对准精度±0.05mm，实现设计图案精准转移。 | ★ | ||||
| （ 2）提供光刻模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ | ||||
| 6.显影/刻蚀模块： | ★ | ||||
| （ 1）一体化设计，满足湿法显影、刻蚀工艺需求。 | ★ | ||||
| （ 2）提供显影/刻蚀模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ | ||||
| 7.掺杂模块： | ★ | ||||
| （ 1）完成硅片掺杂处理，调控半导体电学性能。 | ★ | ||||
| （ 2）提供掺杂模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ | ||||
| 8.显微观测模块：不小于1-120倍显微观察，可对工艺结果检测与分析。 | ★ | ||||
| 9.手持气枪：用于衬底表面残液、粉尘，辅助清洁。 | ★ | ||||
| 10.安全黄光系统： | ★ | ||||
| （ 1）光刻专用黄光安全空间，配套独立进排风系统，保障工艺环境与操作安全。 | ★ | ||||
| （ 2）提供安全黄光系统的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 | ▲ |
其他内容不变
更正日期： 2026年08月04日
三、其他补充事项
其他内容不变，开标时间不变，请各潜在供应商请以最新下载的竞争性磋商文件的内容为准！
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：海南省国兴中学
地址：海口市琼山区府城镇城南路299号
联系方式： 65922680
2.采购代理机构信息
名称：海南鑫河项目管理有限公司
地址：海南省海口市美兰区盛达景都三期4栋2101房
联系方式： 0898-65335692
3.项目联系方式
项目联系人：孟祥伟
电话： 0898-65335692
海南鑫河项目管理有限公司
2026年08月04日
相关附件
原始公告：https://ccgp-hainan.gov.cn/maincms-web/articleHn?type=notice&id=c5303573-ea5d-4d…（本站内容整理自该公开页面，以原文为准）
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