辽宁材料实验室高真空双室磁控溅射薄膜沉积系统采购项目（第二次）竞争性磋商公告

公告正文

项目概况

辽宁材料实验室高真空双室磁控溅射薄膜沉积系统采购项目采购项目的潜在供应商应在辽宁政府采购网获取采购文件，并于2026年08月14日 09时30分（北京时间）前提交响应文件。

一、项目基本情况

项目编号：JH25-210000-70777

项目名称：辽宁材料实验室高真空双室磁控溅射薄膜沉积系统采购项目

采购方式：竞争性磋商

包组编号：001

预算金额（元）：1200000.00

最高限价（元）：1200000.00

采购需求：查看

材料素化研究所致力于利用缺陷调控产生变革型材料或技术，构建材料素化技术体系。磁控溅射技术是其中一种重要的技术手段，磁控溅射技术通过将靶材等离子化，在基片上实现原子级的生长，属于“自下而上”构筑晶体缺陷的技术手段。素化所目前已有一台“通用型”磁控溅射平台，经过一年多以来对于磁控溅射新技术的测试发现现有设备在一些功能上目前无法实现一些实验的要求。为进一步发展材料素化技术、丰富缺陷结构调控手段和能力，亟需采购新型磁控溅射设备，为探索晶界调控（晶界数量、能量、拓扑、分布、成分等）的极限、点缺陷调控等研究提供助力。

该设备属于真空镀膜技术（PVD），在真空室中，通过电场和磁场的共同作用，将氩气电离形成等离子体，其中磁场约束电子以延长其运动路径，从而提高电离效率；被电场加速的氩离子轰击靶材，使靶材原子被溅射出来，最终沉积在基片表面形成致密薄膜。

1.仪器的尺寸大小以及重量：W1988 x L4449 x H2425（mm）;重2t

2.气压：≥6bar

3.供电：三相电：380VAC，50Hz，三相四线制，三相输入总功率约15KW，至少有1个25A四极插座（供电回路具有过载保护措施），三火一零，或者有1个25A三相空气开关，至少有 2个16A空气开关或插座。

合同履行期限：合同签订后5个月内

需落实的政府采购政策内容：落实中小微企业（含监狱企业）、残疾人就业、节能产品、环境标志产品、创新产品和服务、对本国产品的支持等政府采购政策。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、供应商的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。本项目非专门面向中小企业采购，符合《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第（三）项的情形：“按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，或者存在可能影响政府采购目标实现的情形”；所属行业：工业。

3.本项目的特定资格要求：无。

三、政府采购供应商入库须知

参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。

四、获取采购文件

时间：2026年08月03日17时00分至2026年08月11日00时00分（北京时间，法定节假日除外）

地点：辽宁政府采购网获取

方式：线上

售价：免费

五、响应文件提交

截止时间：2026年08月14日 09时30分（北京时间）

地点：辽宁政府采购网

六、开启

时间：2026年08月14日 09时30分（北京时间）

地点：辽宁工程招标有限公司（沈阳市和平区南九马路47号）开标楼一楼第一会议室。

七、公告期限

自本公告发布之日起3个工作日。

八、质疑与投诉

供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。

1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函

2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。

质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。

九、其他补充事宜

无。

十、对本次招标提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名称：辽宁材料实验室

地址：沈阳市浑南区创新路280号

联系方式： 024-25600107

2.采购代理机构信息

名称：辽宁工程招标有限公司

地址：南九马路47号

联系方式： 23383567

邮箱地址： lngcxjxy@163.com

开户行：农行沈阳和平大街支行

账户名称： 01

账号： 06135601040003330

3.项目联系方式

项目联系人：刘畅

电话： 23383567-805