浙江省质量科学研究院低相干干涉内部三维形貌扫描系统验收公告

公告正文

一、合同编号： 11N470030220202513801

二、合同名称：浙江省质量科学研究院低相干干涉内部三维形貌扫描系统合同

三、项目编号： ZJ-2541459

四、项目名称：浙江省质量科学研究院低相干干涉内部三维形貌扫描系统

五、合同主体

采购人（甲方）：浙江省质量科学研究院

地址：杭州市江干区下沙路300号

联系方式： 0571-85025357

供应商（乙方）：浙江谱麦科技有限公司

地址：宁波高新区聚贤路587弄A2-7F

联系方式： 18336341150

六、合同主要信息

服务内容：低相干内部三维形貌测量仪、低相干内部三维形貌测量软件

服务要求： 1、可对精密微小结构内部三维形貌进行扫描并快速形成高密度点云数据及对其直径、圆度、圆柱度、平行度、直线度、粗糙度等参数进行测量，并可对被测件表面损伤（如划痕、磨损等）进行表征；

2、非接触式测量，测量时不接触被测物内表面；

3、光源集成红色指示光，便于测量时定位测量位置；

4、系统点云生成速率（最大值）：100kHz±5%

5、测量重复性：≤3μm；

6、含两个光学探针以及用于探针切换的光学转换开关，可与光学系统及运动平台配合完成多种尺寸多类对象的三维形貌测量。

探针1外径4.6mm，长度350mm；

探针2外径1.05mm，长度50mm；

两个探针的出光方式均为侧面出光，且均含刚性外壳便于测试时的夹持及保护；

7、运动控制系统：可同时驱动及控制运动轴数≥3，可兼容Newport、Aerotech等主流品牌运动导轨、转台，可与光学系统配合完成形貌测量；

8、含手持式操作杆，可便捷控制多个运动轴的运动，可调节各运动轴的运动速度，并含急停功能；

9、Z轴直线导轨：有效行程400mm,精度±5µm（保证值，典型值为±2.5µm）。该导轨可与光学系统、运动平台、运动控制系统及软件配合完成自动化三维形貌测量；

10、X轴直线导轨：有效行程100mm, 精度±1.5µm（保证值，典型值为±0.6µm），该导轨可与光学系统、运动平台、运动控制系统及软件配合完成自动化三维形貌测量；

11、R轴转台：最大转速3600°/s（空载600rpm），精度±1.12mdeg（校准后,注：1 arcsec≈0.28 mdeg），该转台可与光学系统、运动平台、运动控制系统及软件配合完成自动化三维形貌测量；

12、测量范围：

（1）孔径（内径）范围2-6mm，可测量孔径深度50mm（使用探针1，1.05mm外径）；

（2）孔径（内径）范围6-30mm，可测量孔径深度300mm（使用探针2，探针2长度350mm，外径4.6mm，结合Z轴直线导轨行程400mm，故可测量孔径深度为300mm）；

13、本系统支持多类结果输出，可输出点云集、.STL、灰度图等类型结果；

14、软件：具有信号展示、扫描流程设置、A-SCAN设置、运动控制、运动步长设置、回零、扫描模式选取、系统光强及滤波参数调节等功能并支持适用PolyWorks等主流点云处理软件的自定义Macro程序方便功能扩展，可在测试软件中分步设置测试流程并一键开始完成所有测试，扫描模式含螺旋扫描、圆形扫描、线性扫描等多种模式；

15、光学测量及支撑平台：含00级光学大理石/花岗岩平台（承重不低于125kg）、可调节固定支撑、高刚度轻质直角载物平台（用于固定并提升运动轴、探针及其连接及调整组件高度以形成密切配合的整套测量系统）、三爪卡盘及转接件（安装并固定于转台上用于夹持被测件）。

服务期限：合同签订生效后180 日到货，由采购方组织实施质量验收。

服务地点：浙江省质量科学研究院下沙基地（下沙路300号）

七、验收日期： 2026-06-04

八、验收组成员（应当邀请服务对象参与）：郭钢祥,傅圆,葛祺炀,赵梓辰,卢歆

九、验收意见：经质量验收，满足各技术指标要求，详见验收报告。

十、其他补充事宜：